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工業(yè)超純水制備系統(tǒng)
針對(duì)大規(guī)模集成電路、精密電子工業(yè)、科研等需要的超純水制備系統(tǒng)，采用全膜法處理設(shè)計(jì)，根據(jù)使用點(diǎn)水質(zhì)的不同要求，采用“盤濾＋超濾 + 反滲透（Ⅰ）+反滲透（Ⅱ）+CEDI+拋光混床” 的超純水制備工藝流程。
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100m3/h半導(dǎo)體工業(yè)用超純水系統(tǒng)
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